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VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

簡要描述:VTC-100PAD 真空加熱旋轉涂膜機適用于半導體、晶體及光學元件等材料的表面涂覆與薄膜制備。設備兼容強酸、強堿等腐蝕性溶液,滿足多樣化工藝需求。標配3英寸加熱鋁制真空吸盤(支持定制),通過真空吸附固定樣品,確保運行穩定與定位精度。系統支持多段程序控制(最多6段),實現轉速分段調節與平滑加速,提高薄膜均勻性并減少材料浪費。結構緊湊、操作簡便,適用于科研及實驗室應用。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-04-13
  • 訪  問  量:20

詳細介紹

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VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

·采用真空吸附方式固定樣件,操作簡便,定位可靠,真空度可達 -0.08 MPa。

·配有樣品定位工具,可快速實現樣件居中,減少偏心引起的震動或飛片現象。

·可根據不同樣件尺寸配置不同規格真空吸盤,吸盤具有加熱功能,且更換方便。

·采用24V直流無刷電機,運行平穩、噪音低、振動小,啟動和加速穩定,可有效保證涂層厚度的一致性和均勻性。

·配備無油雙缸真空泵,結構簡單、體積小、維護方便、無油污染。

·腔體采用聚四氟乙烯(PTFE)材質,耐強酸強堿腐蝕,抗應力開裂性能好,使用壽命長;機身采用鑄鋁結構,堅固耐用且重量輕。

·支持在惰性氣體氣氛(如 Ar、N?)環境下進行涂層制備。

·采用 PLC 控制系統與觸摸屏操作界面,參數顯示直觀,操作方便可靠。

·設備具有開蓋安全保護功能,運行過程中打開上蓋設備將自動減速直至停止,提高設備安全性。


VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

產品名稱

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

產品型號

VTC-100PAD

安裝條件

1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度: 0-45℃。

2、設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。

3、水:設備配有排污下水口

4、電:單相:AC220V 50Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地

5、氣:真空負壓(真空泵) 抽氣流量不小于 70L/min(設備可通保護惰性氣體;如:Ar N2)

6、工作臺:建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺最佳)

7、通風裝置:無特殊要求

主要參數

1、供電接口:AC220 50Hz

2、涂膜腔體(材質):聚四氟

3、載樣盤(吸盤):3英寸鋁制真空吸盤1個(其他尺寸真空吸盤可定制)

4、運行方式:包含1組程序,每組程序包含 6 個運行階段

5、涂膜轉速:500rpm-10000rpm 有效(轉速遞增量為100rpm)

6、涂膜時間:每段時間范圍:1-9999s

7、轉速穩定性:±1%

8、控制方式:PLC編程器+觸摸屏

9、加熱方式:電阻絲加熱、控制與主機控制關聯

10、加熱溫度:RT-100℃,加熱時間最高可設置9999s。溫度控制可選擇與程序控制關聯,也可獨立控制(有溫度開啟設置鍵)

11、加熱功率:AC220V 150W 控溫精度:±5℃

12、產品規格:

·尺寸:450mm×280mm×340mm;

·重量:20kg

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機






































VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機


序號

名稱

數量

圖片鏈接

1

3英寸制真空吸盤

1個

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

2

中心定位器(含4個定位柱)

1個

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

3

滴液器

1個

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

4

無油真空泵

1臺

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機















VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

序號

名稱

功能類別

圖片鏈接

1

進口移液器

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

2

國產移液槍

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機

3

其它尺寸的真空吸盤

(可選)

VTC-100PAD真空加熱旋轉涂膜機



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